- Деталі
- Перегляди: 3070
Anatolii N. Lukianov, Nickolai I. Klyui, Bo Sha, Volodymyr B. Lozinskii,Volodymyr P. Temchenko, Liubov V. Avksentyeva, Vasyl S. Staschuk //Journal of Alloys and Compounds 801(2019) 285-294.
 |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова Національної академії наук України
|
Пошук
Навігаційний перегляд пошуку
Навігація
Ви тут: Головна 
Наукові відділи Publications lab09-2 lab09-2-2019 Effect of discharge power and silicon content on optical andmechanical properties of carbon-rich amorphous silicon carbidefilms obtained by PECVD.
Наукові відділи Publications lab09-2 lab09-2-2019 Effect of discharge power and silicon content on optical andmechanical properties of carbon-rich amorphous silicon carbidefilms obtained by PECVD.