Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова Національної академії наук України
Пошук
Навігаційний перегляд пошуку
Навігація
Головна
Інститут
Наукові відділи
Проекти
Розробки
Освіта
Новини
Журнал
Пошта
Ви тут:
Головна
Розробки
Publications
dep15
dep-15-before
Электронно-лучевой отжиг имплантированных слоев кремния в структурах SiO2-Si
Прилади
Діагностика
Технологія
Послуги
Деталі
Перегляди: 7100
А.Н. Назаров, В.С. Лысенко, Т.Е. Руденко, С.Н. Ячменев и др.// УФЖ, т.31, №3, C. 434-438 (1986)