V.E. Lashkaryov Institute of Semiconductor Physics NAS of Ukraine
National Academy of Sciences of Ukraine

Search

Усовершенствованная технология производства точных оптических призм внешнего отображения

№27 Отдел физико-технологических основ сенсорного материаловедения
В.П. Маслов

015 2 015
Рис.1. Технология изготовления  призм Рис.2  Внешний вид призм 200 х100

Назначение. Для использования в оптических приборах.
Оптические призмы внешнего отражения составной конструкции имеют преимущества по сравнению со стандартными призмами: большая апертура, меньший вес и широкий спектральный диапазон (от ультрафиолетового до инфракрасного). Известна технология изготовления таких призм, при которой части высокоточной призмы соединяются методом оптического контакта Новый процесс производства Т-образных 90º призм внешнего отражения состоит из следующих этапов:
- полирование поверхностей пластин с использованием стандартных методов оптического производства (N=1-3; N=0.5), при этом смежный угол каждой из пластин составлял 90º±10";
- вакуумное напыление алюминиевого покрытия (несколько сотен нанометров) на поверхности пластин, которые впоследствии соединялись диффузией;
- контактирование и соединение соединяемых поверхностей пластин;
- тепловая обработка при температуре около 400 º С для соединения диффузией;
- контроль качества соединения;
- вакуумное напыление отражающего покрытия.
Результаты исследований показали:
- для зеркальных 90º призм, ошибка, обусловленная влиянием производственных факторов, составила 1-10 угл. сек. и позволяет производить зеркальные призмы с точностью, определенной точностью производства их компонентов;
- воздействие экстремальных условий приводит к изменениям в относительном положении на 2-14 угл. сек. для различных призм;  
- при нормальных условиях отклонения в относительном положении начинают стабилизироваться и их величина не превышает 5 угл. сек. за период двух лет наблюдения. Для лучшего образца отклонение составило 1 угловую секунду, что сопоставимо с точностью измерений.