Влияние кислорода на процессы ионно-лучевого синтеза скрытых слоёв карбида кремния в кремнии

V. Lashkaryov Institute of Semiconductor Physics of National Academy of Sciences of Ukraine

You are here: Home

В.В. Артамонов, М.Я. Валах, Н.И. Клюй, В.П. Мельник, А.Б. Романюк, Б.Н. Романюк, В.А. Юхимчук// ФТП т.32, №12, C. 1414-1419 (1998)

Nav view search