Контроль толщины нарушенных слоев, образующихся при резке и шлифовке несовершенных кристаллов

V. Lashkaryov Institute of Semiconductor Physics of National Academy of Sciences of Ukraine

You are here: Home

Е.Н. Кисловский, В.П. Кладько, А.В. Фомин, В.И. Хрупа // Заводская лаборатория, Т.51, №7, С.30-31 (1985).

Nav view search