Дослідження параметрів структурної досконалості надтонких епітаксійних шарів SiGex методом високороздільної рентгенівської дифрактометрії

V. Lashkaryov Institute of Semiconductor Physics of National Academy of Sciences of Ukraine

You are here: Home

Р.Л. Політанський, В.П. Кладько, М.І. Клюй // Науковий вісник Чернівецького університету. Фізика. Електроніка. Вип.112, С.48-50, (2001).

Nav view search