Пат. 83371 Україна, G01J 5/20, H01L 31/0392. Спосіб виготовлення термочутливої плівки оксиду ванадію для неохолоджуваних болометрів

V. Lashkaryov Institute of Semiconductor Physics of National Academy of Sciences of Ukraine

Search

Details: Hits: 7269

Ю.М. Голтвянський, Є.Ф. Венгер, І.М. Хацевич, В.А. Нікірін, М.М. Мусаєв, О.С. Оберемок, В.П. Кладько, А.В.Кучук; власник Інститут фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова; заявл. 28.01.2013; опублік. 10.09.2013, Бюл. № 17.– 2013.