Пат. 78989 Україна ,G01N 21/00, G01R 31/308 .Спосіб безконтактного виявлення легованих областей в напівпровідниковому матеріалі

V. Lashkaryov Institute of Semiconductor Physics of National Academy of Sciences of Ukraine

Search

Details: Hits: 7386

В.П. Мельник, В.К. Малютенко, І.М. Хацевич, О.Ю. Малютенко, В.В. Богатиренко, В.А. Нікірін, Д.В. Гамов, О.І. Кирюша; власник Інститут фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова; заявл. 11.09.2012; опублік. 10.04.2013, Бюл. № 7.– 2013.