Влияние кислорода на процессы ионно-лучевого синтеза скрытых слоев карбида кремния в кремнии

V. Lashkaryov Institute of Semiconductor Physics of National Academy of Sciences of Ukraine

В. В. Артамонов, М. Я. Валах, Н. И. Клюй, В. П. Мельник, А. Б. Романюк, Б. Н. Романюк, В. А. Юхимчук // ФТП, Т32, №12, C. 1414-1419 (1998)

Nav view search