 |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова Національної академії наук України
|
Наукові відділи Publications dep02 dep-02-before Mechanism of oxygen redistribution during ultra-shallow junction formation in siliconO.S. Oberemok, D.V. Gamov, V.G. Litovchenko, B.M. Romanyuk, V.P. Melnik, V.P. Kladko, V.G. Popov, O.Yo. Gudymenko. // Proceedings of the International Conference Nanomaterials: Applications and Properties, V.2, No 1, 01PCSI14(3p) (2013).
