 |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова Національної академії наук України
|
Розробки Publications lab10-1 lab10-1-before Morphology of a surface and optical researches of AlN-n-Si(100) films obtained by high frequency magnetron sputtering method O.Ye. Belyaev, V.G. Boiko., P.O. Gentsar, O.I. Vlasenko, N.S. Zayats, O.S. Lytvyn, V.P. Papusha, N.V. Sopimskiy, V.O. Stronski // II International conference “Electronics and applied physics”, Taras Shevchenko National University of Kyiv, Faculty of Radio Physics, October, 11-14, 2006, Kyiv, Ukraine, p. 74-75.
