Про акустостимульовану самоорганізацію дефектно-домішкових структур напівпровідника в процесі йонної імплантації

Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова Національної академії наук України

Оліх Я.М. // Оптоелектроніка та напівпровідникова техніка. Київ, Наукова думка. - 2013,- т.48, - С. 113-120

Навігаційний перегляд пошуку