Інститут фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова НАН України
Національна академія наук України

Пошук

Деталі
Перегляди: 6839

В. В. Васильев, А. Г. Голенков, С. А. Дворецкий, Д. Г. Есаев, Т. И. Захарьяш, А. Г. Клименко, А. И. Козлов, И. В. Марчишин, В. Н. Овсюк, В. П. Рева, Ю. Г. Сидоров, Ф. Ф. Сизов, А. О. Сусляков, Н. Х. Талипов // Микроэлектроника, 31, №6, с.414-422 (2002)