Інститут фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова НАН України
Національна академія наук України

Пошук

Scotti G., Trusheim D., Kanninen P., Naumenko D., Shulz-Ruhtenberg M., Snitka V., Kallio T., Franssila S.  // Journal of Micromechanics and Microengineering. – 2013. – V.23(5). – P.055021.